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Vistec EBPG5000+电子束直写系统正式开放共享
来源:公共技术服务中心发布时间:2016-01-18

  公共技术服务中心的Vistec EBPG5000+电子束直写系统已经安装调试完毕,自2016年1月18日起正式开放共享。该系统的曝光分辨率优于20nm,电子束高压100kV,在曝光过程中可自动改变束流大小,提高电子束曝光的效率。

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